PRC激光操作说明书

* 来源 : * 作者 : * 发表时间 : 2020-06-14 0:03:54 * 浏览 : 11
1.操作面板说明图4-12 PRC激光操作面板1紧急停止按钮2控制电压启用开关3计时器4激光功率输出显示5放电管电流显示6放电管选择按钮7腔体压力显示8气体消耗显示和设置按钮9手动加气按钮10工作状态显示11警报诊断错误显示12警报检查按钮重置按钮14按下重置按钮指示灯激光重启指示灯16功能键(F1:用于测试,F2:冷却水流量,F3:检查漏气比率,F4:用于维护,F5:快速启动)其他如表4-11所示。表4-11中英文DiagnosticPanelStatusIndicators的工作状态比较激光显示VacuumPumpOn真空泵启动CompressorOn压缩机启动HighVoltageOn高压启动故障报警诊断错误显示CO2供应低二氧化碳气压低VacuumPump超载真空泵过载OilTemp高油温太高N2SupplyLow氮气压力低系统压力系统高压外壳内部温度高HeSupplyLow氦气压力低ShutterFault百叶窗故障H2OTempHigh水温高High AirSupplyLow普通氮低ShutterH2OFlowLow百叶窗水低HVSupplyFault高电压电源故障压缩机过载涡轮过载H2OFlowLow水流过低涡轮温度过高InverterFault逆变器故障1选择1CompressorFault涡轮故障Interlock打开门开关以打开Option2选择22.PRC激光操作序列常规概述:激光起点1)红色指示灯亮2)真空泵启动,反泵电磁阀打开。 3)油泵启动,油箱中的可控硅灯丝点亮。 4)入口电磁阀打开。 5)快速排气阀打开,压力控制阀打开。 6)包装盒中的冷却风扇开始旋转。 7)第一组报警系统工作。 B:水轮机起点:8Toor(必须关闭光闸,并且不会出现以下警报:水流量低,水温高,水轮机温度高,光闸水流量大,高压停电)1)水轮机启动开始2)混合气进入油箱气体电磁阀打开以向系统提供气体消耗(CAL:400 l / h)3)快速进气阀关闭且压力控制阀关闭4)警告灯点亮5)高压定时器在70秒后开始工作6)第二组警报系统开始工作C:工作压力点1)系统工作压力达到100Toor,压力电磁阀开始周期性工作D:高压准备点(“ HOLD”在控制面板上显示)1)涡轮达到正常速度225HZ2)70秒达到3)第三组报警系统开始工作E:接通高压1)警告灯闪烁2)起动极限ci rcuit开始工作3)自动预热程序开始工作,ldquo,用COLD代替ldquo,HOLD在控制面板上,并在5分钟后预热程序完成后,就可以控制激光器的电流和功率了在“ CAL”期间,气体混合箱向激光器提供400升/小时的气体消耗量,持续20-30分钟。 F:激光气体消耗在EF点G:激光关闭(激光手动关闭或故障关闭)主动停机1)高压停机2)涡轮机开始减速3)三个进气电磁阀关闭4)警告灯熄灭5)进水电磁阀关闭6)机箱中的风扇停止旋转7)延迟7秒,压力控制阀关闭,真空泵停止旋转,反向泵电磁阀关闭,晶闸管灯丝熄灭,机油泵停止旋转b。紧急停机1)立即切断1V和24V线路2)系统立即进入保护状态3)变频器立即减速c。报警停机1)与主动停机相同2)逆变器制动器3)真空泵立即停止旋转H:激光再次启动1)与点I相同:快速启动(必须使腔室内的压力低于100Toor,百叶窗关闭,并且没有出现以下警报:水流量低,水温高,涡轮温度高温度,低百叶窗水流量,高压停电)1)与B点相同J:与G点相同:达到112 Torr时,将自动对充气体进行充液L:充至740 Torr压力后,充液停止
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